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信息光学与光电技术实验室召开2018年度工作总结大会
信息来源: 发布时间:2019年01月29日 【 】 【打印】 【关闭

  121日,信息光学与光电技术实验室在多功能厅举办了2018年度工作总结大会暨新年联欢会。研究室职工、研究生、离退休老同志、相关职能部门负责人代表和特邀嘉宾等160余人欢聚一堂,总结工作,迎接新年,恭贺新春。 

  研究室主任司徒国海研究员作了2018年实验室年度工作总结报告。2018年,全室上下团结努力,锐意进取,多项工作取得可喜进展。研究室承担的“高NA浸没曝光照明系统关键技术研究”项目通过国家02专项正式验收,该项目是02专项光刻机项目的核心部件之一,是高端光刻机国产化的重要支撑,目前该项目研发的照明系统已集成至国产90nm光刻机上,获得85nm的极限光刻分辨率。承担的02专项浸没光刻机多通道像质检测技术研究及计算光刻科研任务取得重要进展,完成单通道波像差检测实验系统设计、集成和测试。另外,2项国家自然科学基金项目、1项上海市科委项目、1项仪器专项及多项中科院和开放课题通过验收、结题。2018年,研究室发表学术论文81篇,其中在”Optics Express”“Applied Optics”等国际光学领域一流期刊上发表SCI论文30篇。申请国际国内发明专利38项,获授权发明专利42项,其中国外专利授权4项。 

  会上,信光室党支部、团支部、分工会、研究生分会等组织负责人也分别在会上做了年度总结报告,回顾了各组织在研究室党建工作、创新文化建设、体育、文娱活动等方面的工作。研究室优秀职工代表和优秀研究生代表分别跟大家分享了各自科研工作中的心得体会。 

  在报告会结束后的新年联欢会上,王向朝老师和司徒国海老师分别为大家带来精彩的歌曲演唱,引起了大家的阵阵喝彩。随后,多才多艺的职工和研究生纷纷登台,表演了丰富多彩的节目,有歌曲、舞蹈,有小品、相声,还有吉他弹唱。节目精彩纷呈,给大家带来了欢乐,同时也展示出了“信光人”的文艺才华与青春向上的活力。 

  联欢会上,大家一起做游戏、演节目、交流学习、工作和生活体会,消除了一年来的疲惫,共同期待新的一年取得更好的成绩。(信息光学与光电技术实验室供稿) 

 


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